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MEMS傳感器發(fā)展狀況

誰能概要說下MEMS或NEMS傳感器技術(shù)的現(xiàn)況，特別是壓力、加速度、聲音這方面的
問 提問者：網(wǎng)友 2017-04-01
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“十五”期間，中科院組織全院近20家研究所開展聯(lián)合攻關(guān)。在重要傳感器件方面，自主開發(fā)了MEMS(微機電系統(tǒng))振動傳感器、MEMS聲響傳感器、MEMS紅外傳感器、光纖傳感器、聲陣列傳感器，形成了以MEMS傳感器為主、復(fù)合多信息探測的小型化傳感器系列。在系統(tǒng)層面，研制出了5個系列9種傳感網(wǎng)端機、4個系列基站等原型樣機，在低功耗、微型化等方面研究取得突破。在專用網(wǎng)絡(luò)研究方面取得重大突破，利用研制的傳感網(wǎng)設(shè)備可組成多種類型的傳感網(wǎng)絡(luò)，并成功實現(xiàn)了各種無線傳感網(wǎng)絡(luò)與公共網(wǎng)絡(luò)、衛(wèi)星網(wǎng)絡(luò)的加密互聯(lián)。同時，研制完成了無線傳感網(wǎng)核心協(xié)議芯片。 另外，基于MEMS技術(shù)的生物微傳感技術(shù)和生物芯片技術(shù)在生命科學(xué)研究、生物醫(yī)學(xué)工程、醫(yī)療保健、食品加工、環(huán)境檢測等領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。
回答者：網(wǎng)友
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